試験・分析手法を調べる

STUDY

超音波顕微鏡による観察法

Acoustic Microscopy

[使用機器]
超音波顕微鏡

分析の原理

主に半導体製品の内部欠陥を検出するために、試料を媒質中に浸けた状態にします。材料中を透過した超音波の反射波あるいは透過波の振幅変化をプローブで受け、試料内部の欠陥の有無やその大きさ・位置などを画像に変換し、非破壊的に評価します。クラックや剥離など欠陥(空気層)があれば、より強い反射が起こり、明確に検出されます。

手法の特長

  • 金属やセラミックなど幅広い材料に対応
  • 光よりも低い周波数で短い波長を実現
  • 対象試料を破壊しない
  • 内部構造を高精度に可視化
  • 短時間で分析できる