試験・分析について学ぶ

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エミッション顕微鏡法 (EMS)

Emission Microscopy

[使用機器]
エミッション顕微鏡

分析の原理

バイアスを印加した半導体デバイス内部で、エミッション顕微鏡(可視光から近赤外光までの有効感度を持つ超高感度冷却CCDカメラと光学顕微鏡による構成)が、デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出し、サブミクロンの位置精度で不良箇所を迅速に特定します。

手法の特長

  • リーク・クラック・ショートなどの欠陥を解析
  • 高電圧電源による高耐圧デバイスの測定が可能
  • チップ裏面の解析にも優れる
  • 損傷をほぼ与えずに内部構造を捉えられる
  • 光学顕微鏡と超高感度カメラで構成