エミッション顕微鏡法 (EMS)

バイアスを印加した半導体デバイス内部で、エミッション顕微鏡（可視光から近赤外光までの有効感度を持つ超高感度冷却CCDカメラと光学顕微鏡による構成）が、デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出し、サブミクロンの位置精度で不良箇所を迅速に特定します。