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STUDY

飛行時間型二次イオン質量分析法 (TOF-SIMS)

Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

[使用機器]
飛行時間型二次イオン質量分析計

分析の原理

超高真空下で固体試料にイオンビーム[一次イオン]を照射し、飛行時間差(飛行時間は重さの平方根に比例)を利用して、表面から放出されるイオン[二次イオン]を飛行時間型質量分析計へ導入することで、試料最表面のマススペクトルを解析できます。試料表面から1 nm以下の深さに存在する元素あるいは分子種の情報を非常に高い検出感度で得られます。

手法の特長

  • 最表面の有機/無機化合物の構造解析・同定が可能
  • 定量分析の精度・検出感度が高い
  • 化学構造に関する情報が得られる
  • イメージ分析により分布をビジュアル化できる
  • ほぼ非破壊(試料ダメージが非常に小さい)