試験・分析手法を調べる

STUDY

レーザー顕微鏡による分析 (LSM)

Laser Scanning Microscope

[使用機器]
3D測定レーザー顕微鏡

分析の原理

レーザーで試料表面を走査し、ピントが合った位置の反射光を検出します。輝度値が最大になる位置がフォーカス位置であることから、すべての画素について輝度のピーク位置を求めると三次元形状が得られます。

手法の特長

  • 高解像度・超深度画像を得られる
  • 非接触で試料の表面を傷つけない
  • 極微細な粗さを高速に計測
  • 凹凸のある試料に適応
  • 柔材質、粘性のある試料にも適応