オージェ電子分光法 (AES)

固体試料の表面に電子線を照射し、放出されるオージェ電子のエネルギー分布を測定することで、試料表面を構成する元素とその組成、化学結合状態を分析する手法。試料から放出されるオージェ電子のエネルギーは元素に固有の値をもつため、試料表面に存在する元素の同定と定量が行えます。