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STUDY

オージェ電子分光法 (AES)

Auger Electron Spectroscopy

[使用機器]
走査型オージェ電子分光装置

分析の原理

固体試料の表面に電子線を照射し、放出されるオージェ電子のエネルギー分布を測定することで、試料表面を構成する元素とその組成、化学結合状態を分析する手法。試料から放出されるオージェ電子のエネルギーは元素に固有の値をもつため、試料表面に存在する元素の同定と定量が行えます。

手法の特長

  • 微小領域の分析に優れている
  • 多層構造をもつ試料の膜厚評価に適している
  • 金属の変色・腐食の原因解析に利用される
  • 液体・気体は測定不可能