エネルギー分散型蛍光X線分析法 (EDX)

物質にX線を照射し、元素固有のエネルギーを持った蛍光X線を発生させます。そのエネルギーと蛍光X線の強度を半導体検出器で測定することで、試料を構成する元素の種類や含有量が分かります。