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STUDY

X線反射率法 (XRR)

X-ray Reflectometer

[使用機器]
X線反射率測定装置

分析の原理

試料表面にX線を非常に浅い角度で入射させると、X線は全反射されます。入射X線の角度が全反射臨界角以上になると薄膜内部にX線が侵入し、試料表面や界面で透過波と反射波に分かれ、反射波は干渉します。入射角度を変えながらX線強度プロファイル測定を行い、薄膜・多層膜の膜厚と界面ラフネス(粗さ)を非破壊で評価します。また、全反射臨界角からは膜密度が分かります。

手法の特長

  • 薄膜試料の膜厚・膜密度・粗さを高精度評価
  • 非結晶も測定できる
  • 前処理が不要
  • 試料を破壊しない
  • 標準試料が不要