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CASE

クリーンルーム中の大気分析【微量無機成分】

[分析手法]
誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS)
[使用機器]
誘導結合プラズマ質量分析計

概要

半導体製品・液晶パネル・ハードディスク・マイクロマシンなどの製造工場に必須のクリーンルーム設備。製品製造の各工程で、表面や内部に塵埃が付着/混入すると、重大な欠損を引き起こし不良が発生するため、徹底した清浄空間が必要です。クリーンルームの清浄度評価において、無機不純物については、ガス状イオン成分や重金属などが主な分析対象になります。

方法

大気中の分子状汚染物質(Airborne Molecular Contaminants: AMCs)のうち、「酸性・塩基性物質」と「金属成分」を、インピンジャー(捕集瓶)を用いて溶液吸収法で捕集し、分析。

結果

詳細データから、改装1週間後のクロマトグラムでは諸成分が減少していることが分かりました。半導体の微細化と高集積化が極限まで求められるなか、ごく微量であっても検出・成分特定は欠かせません。