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CASE

ナノ薄膜の膜厚・密度などの評価

[分析手法]
X線反射率法 (XRR)
[使用機器]
X線反射率測定装置

概要

電子デバイスなどの膜質を評価する指標ともいうべき、薄膜の膜厚と界面ラフネス、膜密度の3つについて評価するために、対象物に対して実験を行います。

方法

膜の体積密度や膜厚・表面・界面ラフネスを同時に評価できるX線反射率法(XRR)によってX線反射率測定装置を用い、実験を実施。*。 *この手法では、試料の組成情報を得ることはできません。

結果

得られたデータを解析した結果、極表層に密度の低い層が存在するなど、設計時には想定していなかった層構成が明らかになりました。