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CASE

電子基板に付着した異物の分析

[分析手法]
フーリエ変換赤外分光分析法 (FT-IR)
[使用機器]
フーリエ変換赤外分光光度計

概要

電子基板上に異物が見つかりました。目視では、影なのか基板の腐食/変色なのか分からないほど微小なレベルです。異物の発生を今後少しでも防ぐ対策につなげる目的で、異物の成分分析を行って、発生源を突き止めたいと思います。

方法

(1)保有ライブラリーが豊富 (2)試料の損傷がほとんどない(エネルギーが弱いため)という利点から、フーリエ変換赤外分光分析法 (FT-IR)による分析を実施。

結果

異物のFT-IRスペクトルは、ライブラリー内のアクリル樹脂のFT-IRスペクトルと類似しており、異物はアクリル樹脂であるとすることが推定されました。また、テープの粘着層が付着したものであると推察されました。