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CASE

クリーンルーム中の大気分析【微量無機成分】

[分析手法]
誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS)
[使用機器]
誘導結合プラズマ質量分析計

概要

半導体製品・液晶パネル・ハードディスク・マイクロマシンなどの製造工場に必須のクリーンルーム設備。製品製造の各工程で、表面や内部に塵埃が付着/混入すると、重大な欠損を引き起こし不良が発生するため、徹底した清浄空間が必要です。クリーンルームの清浄度評価において、無機不純物については、ガス状イオン成分や重金属などが主な分析対象になります。

結果

本事例では、大気中の分子状汚染物質(Airborne Molecular Contaminants: AMCs)のうち、金属成分について、インピンジャーを用いて溶液吸収法で超純水に捕集し、分析を行いました。半導体の微細化と高集積化が極限まで求められるなか、ごく微量であっても検出・成分特定は欠かせません。