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CASE

クリーンルーム中の大気分析【微量有機成分】

[分析手法]
熱脱着-ガスクロマトグラフィー質量分析法 (TD-GC/MS)
[使用機器]
加熱着脱装置付GC/MS

概要

半導体製品・液晶パネル・ハードディスク・マイクロマシンなどの製造工場に必須のクリーンルーム設備。製品製造の各工程で、表面や内部に塵埃が付着/混入すると、重大な欠損を引き起こし不良が発生するため、徹底した清浄空間が必要です。クリーンルームの清浄度評価において、有機汚染物質については、空気中の微量有機物のほか、人体から発生する有機系化合物も分析対象になります。

結果

本事例では、改装後の実験室の大気が、建材からの微量揮散ガスで汚染されているものとみて、分析を行いました。改装直後と1週間後の2回にわたって大気を測定し、溶剤に含まれる酢酸エチル、トルエン、置換ベンゼンなどの有機物量を測定・比較しました。詳細データから、改装1週間後のクロマトグラムでは諸成分が減少していることが分かります。