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CASE

ナノ薄膜の膜厚・密度などの評価

[分析手法]
X線反射率法 (XRR)
[使用機器]
X線反射率測定装置

概要

電子デバイスなどの膜質を評価する指標ともいうべき、薄膜の膜厚と界面ラフネス、膜密度の3つについて、どのような手法で定量的に求めることができますか? また、一度の手技でこれらをすべて測定することは、可能でしょうか?

結果

X線反射率法(XRR)によって、薄膜の体積密度や膜厚・表面・界面ラフネスを同時に評価することができます*。詳細データが示すように、極表層に密度の低い層が存在するなど、設計時には想定していなかった層構成が明らかになりました。 *この手法では、試料の組成情報を得ることはできません。